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第78回 CVD研究会

2022-12-02(金)10:30 - 17:00 JST

京都大学 桂キャンパス

京都市西京区京都大学桂

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CVD研究会会員 3,000円 前払い 受付終了
共催・協賛学協会会員(大学・国公研) 5,000円 前払い 受付終了
共催・協賛学協会会員(企業関係者) 10,000円 10,000円 前払い 受付終了
学生 1,000円 前払い 受付終了
一般 15,000円 前払い 受付終了
請求書払い(事務局にご連絡ください) 無料

詳細

第78回CVD研究会を京都大学桂キャンパスにて,研究室見学会および5名の講師の方をお招きしての講演会を開催いたします。多数の方々のご参加をお待ちしています。なお、講演会終了後の技術交流会の開催は見送ります。

日  時 :令和4年12月2日(金)10:30 ~17:00

開催形式 :対面(一部オンラインでのご講演あり)
主  催 :CVD研究会
共  催 :京都大学工学研究科,化学工学会反応工学部会CVD反応分科会,
   化学プロセス研究コンソーシアム ナノ材料プロセス研究グループ
協  賛 :近畿化学協会,表面技術協会,日本金属学会,化学工学会関西支部(予定)
場  所 :京都大学桂キャンパスA2棟305講義室(午前), A2棟306講義室(午後)
参 加 費 :CVD研究会会員 3,000円
     共催・協賛学協会会員(大学・国公研) 5,000円
     共催・協賛学協会会員(企業関係者) 10,000円
     学生 1,000円      
     一般 15,000円
申込締切 :令和4年12月1日(木)12時
参加費は、クレジットカード払いでお願いします。請求書払いを希望される場合は、事務局にご相談ください。

(お問い合わせ先)
   CVD研究会 (会長 河瀬元明, 事務局 影山美帆) e-mail: cvd@cheme.kyoto-u.ac.jp
   〒615-8510 京都市西京区京都大学桂   Tel: 075-383-2663,  Fax: 075-383-2653
       (京都大学大学院工学研究科化学工学専攻反応工学分野内)

プログラム
10:30–11:30 研究紹介および研究室見学会
  京都大学 材料化学専攻 教授 田中 勝久 氏
  京都大学 化学工学専攻 教授 河瀬 元明  
11:30–12:45  昼休み
12:45–13:00  令和4年度CVD研究会総会
13:00–13:50 「HiPIMS法によるDLC成膜技術の応用」    
  ナノテック株式会社 取締役 平塚 傑工 氏
13:50–14:40 「反応性物質の活用で拓くシリコン系CVDプロセスの可能性」
  横浜国立大学 名誉教授 反応装置工学ラボラトリー 羽深 等 氏
14:40–14:50  休憩
14:50–15:40 「不純物でスパッタ膜のモフォロジーを制御する ~アモルファスからエピ膜まで~」
  九州大学 システム情報科学研究院 教授 板垣 奈穂 氏
15:40–16:30 「MOCVD法による強誘電体薄膜及びナノ構造の作製」
  兵庫県立大学 工学研究科 電子情報工学専攻 教授 藤沢 浩訓 氏・中嶋 誠二 氏
16:30–17:00  話題提供「Use of Direct Liquid Injection (DLI) vaporization for the CVD and the ALD of various materials for diverse applications」
  KEMSTREAM President Herve Guillon 氏

コミュニティについて

CVD研究会

CVD研究会

CVD研究会は,主として non-electronic use の CVD (化学蒸着法,化学気相成長法) に関する研究発表と討論を,化学と材料の立場からおこなう学会です。 CVD研究会では,CVD に関する基礎講座,最新の国際会議報告,文献紹介,招待講演,会員の話題提供などのサービスが受けられます。 化学工学会 反応工学部会 CVD反応分科会とシンポジウムを共催しており,CVD研究会の...

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